光学微电子无尘室净化工程介绍

发布时间:2018年03月06日游览次数:1175

光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。

光学微电子净化工程一般包括:

1、 洁净生产区

2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等)

4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

光学微电子净化工程净化原理

气流初效净化空调中效净化风机送风管道高效净化风口吹入房间带走尘埃细菌

等颗粒回风百叶窗初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。

光学微电子净化工程净化参数

换气次数:0000≥15;000≥20;00≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa

平均风速:级、00.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃

温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。

噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的%-30%;照度300LX

光学微电子净化工程结构材料

1净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

3送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

学微电子净化工程解决方案:

净化工程设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求 、工程造价合理、经济节能实用的方案。

组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口

这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

优点:

A空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;

B比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房

C空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源

上一条:洁净室日常清洁流程与注意事项,你知道吗
下一条:十万级无尘车间设计施工要求有哪些